21世紀經濟報道記者鄧浩孫燕無錫報道
在自主可控和AI驅動先進制程兩大需求拉動下，半導體設備公司迎來業績大爆發。
國內ALD/CVD設備龍頭的微導納米是其中代表。今年上半年新增半導體設備訂單已超去年全年水平。截至6月30日，半導體領域在手訂單達 23.28 億元，較年初增長54.72%。
從光伏起家的微導納米，如何跨到半導體？當前半導體設備國產化還存在哪些困難或阻力？作為無錫本土公司，對這座半導體重鎮近年來打造半導體設備和零部件高地，又有何思考和建議？
9月4日，微導納米CTO黎微明在2025集成電路（無錫）創新發展大會期間接受了21世紀經濟報道記者的專訪。
以下是采訪實錄。
21財經：微導納米從零起步成長為國產ALD設備龍頭，關鍵轉折點和挑戰是什么?
黎微明：我們是2015年底成立，初衷是攻克尖端半導體設備，比如12寸晶圓設備的國產化難題，這本身就是一個具有高度戰略性和挑戰性的目標。當時國內半導體產業鏈尚未像今天這樣成熟，市場對國產尖端設備的接受度和機會確實有限。繼續強攻，可能會面臨“叫好不叫座”的困境。恰逢國內光伏行業的爆發式增長，我們發現了ALD（原子層沉積）技術在提升光伏電池片轉換效率方面的巨大潛力。
光伏技術一直發展到今天，我們也一直是行業技術轉型的重要推手，無論是過去的高效電池，到前段時間的TOPCon，再到BC電池（背接觸電池），還有一些代表未來趨勢的電池，我們都有積極做研究和創新，希望能夠推動行業進一步發展。
微導一直都有創新的基因，在光伏領域發展最快的時候，我們回到初心，用自有資金投入繼續進行半導體設備研發。 其后，我愿意用一個詞來形容微導的半導體業務發展：突飛猛進。
21財經：近幾年半導體設備國產化進程突飛猛進，目前半導體設備國產化仍然存在哪些阻力?
黎微明：對我們來講，目前有兩種不同的挑戰。
在半導體行業的下游，許多環節依然處于穩步發展的階段（尚未采用最前沿的技術節點）。
當推進技術創新時，面臨的挑戰主要來自于如何與客戶現有產線的標準和生態實現高度兼容。客戶對設備的一致性和穩定性提出了非常嚴格的要求，這促使我們必須深入理解實際應用場景，將“實現無縫替代”作為我們產品開發和服務的重點方向。
但是我認為，在半導體特別是存儲的某些領域已經開始并跑，（甚至）領跑，對我們來講，就是一個完全不同的挑戰，我覺得非常好，這是一個藍海，能和客戶一起做新的技術、材料、工藝，來挑戰一個新的器件結構。
21財經：對于無錫打造半導體設備和零部件高地，你有怎樣的建議？
黎微明：我深切地感受到，無錫政府從上到下都非常支持半導體行業。無錫雄厚的經濟體量、技術積淀與完整的產業鏈，更為企業發展提供了強大支撐。
如果說進一步完善的話，首先，半導體關鍵零部件和材料的種類繁多，需求始終存在。（比如）有一些零部件和材料，它的市場并不是很大。但無錫若能培育一批專注于該領域的優質中小企業，形成集群效應，將顯著強化本地供應鏈。
其次，從技術角度，建議構建一個開放性的支撐平臺。集檢測、分析、與制造驗證功能為一體，此類平臺可為裝備、材料及零部件企業提供關鍵的產品驗證服務，降低企業自建資源的成本，推動工藝與材料技術的協同突破。
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